光學元件形貌測試系統是Phasics推出的一款多波長動態干涉儀，該產品應用了Phasics的橫向四波剪切干涉技術,可以實現動態的波前測量，從而快速得到樣品的表面形貌信息;而且該技術的自消色差的特性,讓系統可以支持多個工作波長,有效避免傳統干涉儀測試波長跟工作波長不同帶來的誤差問題，特別針對濾光片，可以實現傳統干涉儀無法實現的TWE的測試。

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更新時間：2025-09-02

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產品介紹

光學元件形貌測試系統

KALEO MULTIWAVE光學元件形貌測試系統是Phasics推出的一款多波長動態干涉儀，該產品應用了Phasics的橫向四波剪切干涉技術,可以實現動態的波前測量，從而快速得到樣品的表面形貌信息;而且該技術的自消色差的特性,讓系統可以支持多個工作波長,有效避免傳統干涉儀測試波長跟工作波長不同帶來的誤差問題，特別針對濾光片，可以實現傳統干涉儀無法實現的TWE的測試。

應用領域：濾光片TWE檢測

反射鏡RWE檢測

雷達保護窗口檢測

光學元件形貌測試系統

圖2、5英寸帶通濾光片的RWE

光學元件形貌測試系統

圖3、940nm的鏡子面型

光學元件形貌測試系統

圖4、645nm帶通濾光片TWE

斐索干涉儀 Kaleo Multiwave

光學元件形貌測試系統

圖5、斐索干涉儀和KaleoMultiwave的測試結果對比

測試結果對比表

		FIZEAU	PHASICS
直徑（mm）		124.9	125.4
RWE(nm PTV)		1498.13	1535.38
RWE (nm RMS) without PST/TLT/PWR		35.2
RWE (nm RMS) without ST/TLT/PWR/AST/CMA/SA		9.1
	SAG(fr)	5.13	5.04
	IRR(fr)	0.75	0.61
	RSI (fr)	0.34	0.23
	RMSt (fr)	1.477	1.459
	RMSi (fr)	0.129	0.103
	RMSa (fr)	0.085	0.059

光學元件形貌測試系統技術規格

KALEO Multiwave技術規格
配置	雙透射
測試功能	RWE反射表面形貌 TWE透射器件
最多可支持波長	標配2個波長；最多可以8個波長
定制波長	從193nm到14um可選紫外：266nm，355nm，405nm VIS/NIR：550nm，625nm，780nm，940nm，1050nm SWIR/MWIR/LWIR:1.55um,2.0um,3.39um,10.6um
通光口徑	130mm
光路中心高度	108mm
調試模式	實時相位及澤尼克系數顯示
FOV調整范圍	+/- 2°
尺寸和重量	910x600x260 mm3 , 25kg
隔震要求	無
重復性（RMS）	<0.7nm(<λ/900)
精度	80nmPV
動態范圍(defocus)	500 fringes SFE=150um
反射率	~4% - 99%